在本文中关键风险是指可能给标的造成最严重损失后果的风险因素。此类风险虽然发生概率较低，但仍应被认定为划分危险单位的主导因素。本段介绍此类评估的基本方法。
从风险事故（peril）来看，半导体制造企业最主要的事故是火灾爆炸、烟熏污染、危险性液体、气体泄漏、服务中断（尤其是电力中断）等。由于半导体制造企业的机器设备多属于高精密度的设备，因此，对设备的稳定性要求极高，因此地震风险也是必须要考虑的风险之一。
4.1 半导体制造类企业兼有资本密集和技术密集的特性，厂房设备造价高昂，主要生产区内相互联通、无防火间隔，生产设备精密，设备和存货（包括在产品）敏感度高，广泛使用易燃、腐蚀性和毒性的流体，恢复重置周期长。由于危险集中，一旦发生火灾，其燃烧、污染、腐蚀、水渍及倒塌等破坏力将产生相乘效应，使洁净室内的设备遭受严重损害。同时，半导体制造类企业发生火灾时通常会伴随爆炸与毒气泄漏，抢救及灭火的难度非常高，因此，火灾爆炸为关键风险。
从风险条件（hazard）来看，以芯片加工企业为例， 火灾爆炸主要集中在：
（1）化学气相沉积：沉积某些介电质层、导电层或半导体层的一种方法。含有需要沉积物质原子的化学品与另一种化学品反应，将所需材料释放出来，并沉积在芯片上。同时，衍生物（副产品）从反应室去除。关键设备为CVD机；会用到易燃的硅烷；反应温度高。
（2）扩散：将少量杂质（掺杂物）加入衬底材料如硅或锗中，并使掺入的杂质在衬底中扩散。该工艺过程对温度和时间依赖性很强。关键设备为炉管，会用到易燃的硅烷、磷化氢以及毒性气体砷化三氢，反应温度高。
（3）光刻：将图案从光刻掩膜版上转移到芯片上，从而定义要蚀刻或者掺杂区域的工艺。关键设备为扫描机或步进机，使用易燃的光阻剂，对振动非常敏感。
（4）蚀刻：去除特定区域材料的工艺过程。往往通过湿法或干法的化学反应，或者物理方法，如溅射蚀刻实现。关键设备为蚀刻机。蚀刻机可分为干蚀刻及湿蚀刻两类。干蚀刻使用高电压电流，湿蚀刻使用强酸并可能在蚀刻过程中释放氢气。
（5）离子植入：将选择的杂质（掺杂物）通过高电压离子轰击的方式引入芯片内，并在指定的区域获得理想的电特性。关键设备为离子植入机，使用强电流。
（6）化学机械研磨：一种使晶体平坦和抛光的工艺。将化学去除和机械抛光结合到一起，用于晶体生长后的芯片抛平磨光和芯片的制造工艺过程中的平坦化。关键设备为CMP机。
（7）物理气相沉积：一种金属沉积方法。主要有真空蒸发法和溅射法。关键设备为PVD机，使用高电压电流。
（8）芯片清洁：关键设备湿洗台，要关注湿洗台本身是否使用可燃材料建造；同时，部分湿洗台需使用经加热且易燃的异丙醇作为清洁济也应引起特别关注。
（9）供热、空调、通风系统及排烟（雾）管：需关注管线本身材质是否使用塑料材质以免火灾经由这类管线窜烧到全厂。
（10）公用设备如发电机锅炉等，均以柴油作为主要燃料，增加了火灾爆炸的危险程度。
（11）化学品供应及储存：需关注洁净室内化学品储存量及可燃性化学品是否储存在防爆柜或与洁净室独立的防火区域内。
4.2 巨灾风险的评估
由于地震、洪水、台风等巨灾风险的特殊性，即使保险公司按照最谨慎的原则划分每一笔业务的危险单位，在发生重大自然灾害时，责任累积问题仍然难以避免。因此应预先针对巨灾风险进行评估，本段介绍此类评估的方法。
地震、洪水、台风等巨灾风险主要与所在地自然灾害的频度和烈度、资产的地域分布集中度、建筑物的防护情况以及保险财产遭受损失的敏感程度有关。半导体制造类企业的工艺特点决定了其对振动、作业环境因素等很敏感。因此，地震风险是不容忽视的主要风险之一，特别是在选址、设计安装阶段，尤其要考虑到。
5．防护措施失效评估的方法和基本原则
大型企业均有一系列安全防护措施，如安全检查、消防防火等。作为划分危险单位的前提，应评估是否存在所有防护措施同时失效的可能。如不存在此种可能，还应评估部分防护措施失效的最不利情况下，可能发生的最大损失情况。
半导体制造类企业的火灾防护措施主要包括火灾探测系统（比如VESDA）、灭火系统（比如消防给水系统、喷淋系统、灭火器、排气管保护、消防队）和快速应急方案等。应考虑防护设施的设计、安装的充足性、合理性和日常维护的充分性。
评估火灾的PML的通常方法是：划分危险单位，比较各种可能的火灾情形，寻找最大可能的经济损失。
6．人为因素风险评估的方法和基本原则
各类事故的发生多数与人为因素存在内在联系，安全防护措施也有可能遭到人为因素的干扰，如工作人员擅离职守、发生事故时不能采取正确的应对措施等情况。此类问题多数是企业内部风险管理制度滞后的体现，本段介绍对此类风险进行评估的方法。
人为因素风险的评估主要有几个方面：
－企业是否有完善的安全管理规章制度和灾害应急计划。
－安全制度的执行和监督情况。
－员工的素质和培训情况。
－进场作业的承包商的资质如何，是否有足够的安全培训。
－管理层对风险管理的重视程度。
对于半导体制造类企业而言，大量使用精密设备，更应该重视人为因素的影响。
7．结论
半导体制造企业的财产损失与利损损失必须作为一个危险单位考虑。
半导体制造类企业的洁净室厂房（含位于同一厂区的所有洁净室厂房， all fabs in the same location）不可拆分危险单位。同时，配套设施应和洁净室厂房作为一个危险单位考虑，也不可单独拆分。
办公楼、仓库等建筑如果与周边建筑有任何形式的连接，则不可拆分危险单位；如果完全独立，与周边建筑无任何物理连接，原则上可以依照防火间距划分危险单位。一般为：
7.1 两栋建筑物间的距离，至少等于其中较高一栋建筑物的高度，如间距超过20米，则可不考虑高度。
7.2 任何距离20米以上的分隔，一般可以划为不同的危险单位；对于距离小于或等于20米的情况，划分危险单位所要求的基本间隔距离为：
（1）建筑物与露天堆积可燃物品间的距离：20米。
（2）生产储存可燃性物品的建筑物与其它建筑物间的距离：15米。
（3）一般建筑物之间的距离：10米。
若7.1和7.2原则不一致，则以两者中较大值作为划分危险单位的间隔距离。
财产保险危险单位划分方法指引
第10号：港口工程
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