多晶硅的品质规格：
多晶硅按外形可分为块状多晶硅和棒状多晶硅；等级分为一、二、三级免洗料。
多晶硅的检测：
主要检测参数为电阻率、碳浓度、Ｎ型少数载流子寿命；外形主要是块状的大小程度；结构方面要求无氧化夹层；表面需要经过酸腐蚀，结构需致密、平整，多晶硅的外观应无色斑、变色，无可见的污染物。对于特殊要求的，还需要进行体内金属杂质含量的检测。
单晶硅棒品质规格：
单晶硅棒的主要技术参数
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｜ 型 号 ｜ Ｐ型或Ｎ型 ｜
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｜晶向 ｜＜１１１＞＜１００＞ ｜
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｜电阻率 ｜０．０００１ｏｈｍ．ｃｍ－１００ｏｈｍ．ｃｍ｜
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｜电阻率均匀性 ｜＜２５％ ｜
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｜位错密度 ｜无位错 ｜
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｜ＯＩＳＦ密度 ｜＜５００平方厘米 ｜
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｜氧含量 ｜根据客户要求 ｜
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｜碳含量 ｜＜１ｐｐｍａ ｜
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｜主参考面取向宽度 ｜根据客户要求 ｜
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其中电阻率、ＯＩＳＦ密度、以及碳含量是衡量单晶硅棒等级的关键参数。这些参数在单晶成型后即定型，无法在此后的加工中进行改变。
